nach oben
Meine Merkliste
Ihre Merklisteneinträge speichern
Wenn Sie weitere Inhalte zu Ihrer Merkliste hinzufügen möchten, melden Sie sich bitte an. Wenn Sie noch kein Benutzerkonto haben, registrieren Sie sich bitte im Hanser Kundencenter.

» Sie haben schon ein Benutzerkonto? Melden Sie sich bitte hier an.
» Noch kein Benutzerkonto? Registrieren Sie sich bitte hier.
Ihre Merklisten
Wenn Sie Ihre Merklisten bei Ihrem nächsten Besuch wieder verwenden möchten, melden Sie sich bitte an oder registrieren Sie sich im Hanser Kundencenter.
» Sie haben schon ein Benutzerkonto? Melden Sie sich bitte hier an.
» Noch kein Benutzerkonto? Registrieren Sie sich bitte hier.

« Zurück

Ihre Vorteile im Überblick

  • Ein Login für alle Hanser Fachportale
  • Individuelle Startseite und damit schneller Zugriff auf bevorzugte Inhalte
  • Exklusiver Zugriff auf ausgewählte Inhalte
  • Persönliche Merklisten über alle Hanser Fachportale
  • Zentrale Verwaltung Ihrer persönlichen Daten und Newsletter-Abonnements

Jetzt registrieren
Merken Gemerkt
26.11.2013

Intelligente Kamera Mv Blue Lynx von Matrix Vision

Kontrolle des aufgetragenen Substrats Elastizitätsverhalten von Schaumstoffen testen

Intelligente Kamera Mv Blue Lynx

Seit über 50 Jahren dienen Wafer als Grundplatte für elektronische Bauteile. In den meisten Fällen besteht die Scheibe aus Silicium. Für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik kommen auch Glas-Wafer zum Einsatz, auf denen Dotierungssubstrat aufgebracht wird. Für die Kontrolle des aufgetragenen Substrats hat EVT Eye Vision Technology, Karlsruhe, ein autonomes Inspektionssystem entwickelt. Das System basiert auf der intelligenten Kamera mvBlueLynx-X von Matrix Vision, Oppenweiler, und einem auf der Kamera ausgeführten EyeVision-Programm von EVT.

Die höchsten Kosten werden verursacht, wenn ein Fehler erst beim Anwender auftritt. Umso wichtiger ist es, bereits im Produktionsprozess Fehler zu erkennen und fehlerhafte Teile auszusortieren. Dies gilt auch bei der Wafer-Produktion. In einem frühen Stadium der Produktion wird das Dotierungssubstrat auf der Glasscheibe aufgebracht. Hierbei kann es zu vielen Fehlern kommen: Die Oberfläche bleibt teilweise unbeschichtet, Schmutzpartikel hinterlassen einen Schweif oder auf den Wafern sind Kratzer.

Mit EyeVision bietet EVT eine Software, die solche Fehler nach Firmenangaben zu 100 Prozent erkennt. Jedoch fehlte die geeignete Hardware. Hierbei war es wichtig, dass das Prüfsystem kompakt aufgebaut ist und sich in einer Produktionsstraße als zusätzliches Modul einfügen lässt.Eine mögliche Lösung besteht aus einer Kamera, die auf einen Wafer schaut, der von unten mit einem hochleistungsfähigen LED-Licht beleuchtet wird und so für kontrastreiche Bilder sorgt. Dazu wären ein separater Auswerte-PC mit Prüfsoftware, eine Kontrolleinheit für die Beleuchtung, ein Framegrabber sowie eine Schnittstelle zum Gesamtsystem nötig, was das Prüfsystem komplexer macht.

Einfacher geht es mit einer intelligenten Kamera. Diese steuert die Beleuchtung, übernimmt die komplette Prüfung durch das Ausführen der Prüfsoftware und übermittelt die Prüfergebnisse mit Bild an das Gesamtsystem. Für die geforderte Genauigkeit in der Fehlererkennung war ein hochauflösender Sensor nötig. Ferner musste auf der Kamera EyeVision lauffähig und ausreichend Rechenleistung vorhanden sein. Die Wahl der Kamera fiel auf die mvBlueLynx-X, die neueste Generation der intelligenten Kameras von Matrix Vision. Die Serie bietet eine breite Auswahl an Sensoren an. Für die Wafer-Inspektion wurde die 5-MPixel-CMOS-Variante gewählt. Für die Bildverarbeitung stellt die intelligente Kamera die Rechenleistung eines 1-GHz-ARM-Prozessors sowie einen zusätzlichen DSP mit 800MHz zur Verfügung. Für die Kommunikation zum Gesamtsystem bietet die Kamera mit USB, Ethernet und RS-232 genügend Schnittstellen. Zusätzlich kann über eine VGA-Schnittstelle ein Monitor zur Darstellung der Ergebnisse angeschlossen werden.

EVT hat die Prüfsoftware Windows-PCbasiert mithilfe der EyeVision-Software programmiert. Die Inspektion und Fehlererkennung beruht auf einem Remote-Protokoll. Das heißt, dass am Ende der Programmierung der Windows-PC von der intelligenten Kamera getrennt wird und die Prüfung autonom stattfindet. Danach stößt der Leitrechner die Prüfung in der intelligenten Kamera an und bekommt über das Protokoll die Fehler zurückgeliefert. Für den Datentransfer kann entweder Ethernet oder RS-232 verwendet werden. Optimiert ist das GWI-System für Oberflächenfehler, wofür die Prüfsoftware mit Basisprüfabläufen ausgestattet ist.

Der Anwender kann die Prüfsoftware per Drag-and-Drop-Programmierung auch für andere Defekte fit machen. In einer künftigen Software-Version soll sich das Einlernen von Prüfprogrammen auch mit einem Linux-System durchführen lassen. Für den Hersteller ist dem Anwender mit diesem System die Möglichkeit gegeben, schon früh Fehler zu 100 Prozent zu erkennen.

Um polymere Schaumstoffe richtig einsetzen zu können, muss ihr dynamisches Verhalten untersucht werden. Dies kann mithilfe des Kugelrückprall-Testers EKF von Bareiss, Oberdischingen vorgenommen werden. Das weiterentwickelte Gerät entspricht der DIN EN ISO 8307 und der ASTM D 3574. Neben den Messfunktionen nach Norm bietet das Gerät die Möglichkeit, nach weiteren Modi zu prüfen. Der Tester ist mit einer 16,3 g schwere Kugel ausgestattet. Dies wird in einem Fallrohr kontrolliert auf das Probenmaterial fallen gelassen. Entsprechend den jeweiligen Normen erfolgt dies aus einer Höhe von 500 mm oder 460 mm. Aufgrund des Elastizitätsverhaltens des Probenmateriales wird die Kugel nach dem Einschlag zurückprallen. Die Rückprallhöhe der Kugel wird als prozentualer Rückprallwert angezeigt. Das Fallrohr ist zusätzlich mit einer ablesbaren Skala ausgestattet, die eine visuelle Überprüfung des Messergebnisses ermöglicht. Die Rückprallhöhe der Kugel wird also nicht ausschließlich mit einem induktiven Sensor gemessen und angezeigt, sondern kann zusätzlich visuell am Fallrohr abgelesen werden. Die Verwendung eines sonst üblichen Referenzschaumes ist nicht nötig. Laut Hersteller ist es der intuitiven Bedienung und dem kurzen Messzyklus zu verdanken, dass mit dem Tester schnell, einfach und zuverlässig gemessen werden kann.

Unternehmensinformation

MATRIX Vision GmbH

Talstr. 16
DE 71570 Oppenweiler
Tel.: 07191 9432-0
Fax: 07191 9432-88

Diese Beiträge könnten Sie auch interessieren
Newsletter

Sie wollen immer top-aktuell informiert sein? Dann abonnieren Sie jetzt den kostenlosen Newsletter!

Hier kostenlos anmelden

Beispiel-Newsletter ansehen