Merken 30.10.2015

Inspektionssystem Magx System 125 mit integriertem Autofokus von Qioptiq

Autofokus optimiert Messung

Inspektionssystem Magx System 125 mit integriertem Autofokus (Foto: Qioptiq)

Qioptiq, Feldkirchen, erweitert das modulare Hochleistungs-Inspektionssystem Magx System 125 um integrierte Autofokus (AF)-Komponenten. Das industrielle Mikroskopsystem ist speziell für den Einsatz von großen Sensoren bis 57 mm Diagonale entwickelt worden, um große Objektfelder mit Submikrometer-Auflösung abzudecken. Erreicht wird diese optische Leistung durch eine besonders hohe numerische Apertur bei gleichzeitig deutlich vergrößerten Objektfeldern, erklärt die Firma.

Um die hohe Auflösung des Systems nutzen zu können, ist eine exakte Fokussierung erforderlich. Zur Vereinfachung der Fokussierung im automatisierten Umfeld wurde eine komplette modulare Autofokus-Lösung in das System integriert. Den aktiven Teil übernimmt dabei das Piezomodul, das in Sekundenbruchteilen auf wenige Nanometer genau fokussiert. Über die Autofokus-Basiseinheit wird der Laser eines Autofokussensors in den Strahlengang eingekoppelt. Der Autofokussensor regelt direkt das Piezomodul und stellt somit am Ort der Bildaufnahme die optimale Fokussierung sicher. Durch das modulare Design und die offenen Schnittstellen sollen zahlreiche Konfigurationen möglich sein, die eine breite Anwendungspalette erschließen.

Durch den Wegfall von Stitching und die Verwendung leistungsfähiger Sensoren soll das System eine deutliche Verkürzung der Taktraten ermöglichen.