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01.06.2006

Inspektionsmikroskop MX61

Defekte leichter und effizienter erkennen

Inspektionsmikroskop MX61

Inspektionsmikroskop MX61

Das Inspektionsmikroskop MX61 für 200/300-mm-Wafer der Olympus Deutschland GmbH, Hamburg, soll durch verbesserte Fehlerdetektion und zuverlässigere Inspektionsergebnisse die Halbleiterprüfung effizienter machen. Erreicht wird dies laut Hersteller durch einen automatisch für die jeweils gewählte Vergrößerung optimierten Kontrast, den leichten Zugriff auch auf komplexere Kontrastmethoden und die intuitive Bedienung. Dadurch werden Anwendungsfehler minimiert, und Prüfergebnisse sind weniger abhängig vom jeweiligen Bediener.

Die kleine Grundfläche des Mikroskops begünstigt nach Herstellerangaben die Gestaltung von kosteneffizienten und praktischen Arbeitsplätzen. Durch das schlanke Stativdesign kann der Abstand zwischen Waferhandlingsystemen und dem Mikroskop reduziert werden. Dies erlaubt nach eigenen Angaben ein schnelleres Waferhandling und minimiert das Risiko der Kontamination während des Handlings. Zusätzlich sollen die spezielle antistatische Oberfläche des Mikroskops und der mehrfach abgedichtete Objektivrevolver das Ablagern und Entstehen von Partikeln verhindern.

Alle wichtigen Tasten und Schalter sind in der Nähe der Fokusknöpfe auf der Vorderseite des Mikroskops angebracht. Um bei jeder Vergrößerung automatisch den besten Kontrast und die beste Auflösung zu erhalten, öffnet und schließt sich die Aperturblende beim Objektivwechsel automatisch auf den für das Objektiv optimalen Wert. Zusätzlich liefert der Auflichtilluminator in Kombination mit den M-Plan-Fluorit-Objektiven einen bis zu zweimal höheren Dunkelfeldkontrast als vergleichbare Mikroskope dieser Klasse, heißt es bei Olympus. Durch das modulare Designkonzept und die integrierte Kommunikationsschnittstelle kann das Mikroskop jederzeit aufgerüstet werden.

Unternehmensinformation

Olympus Deutschland GmbH Microscope National

Wendenstr. 14-18
DE 20097 Hamburg
Tel.: 040 23773-0
Fax: 040 230817

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