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02.04.2003

Infratec-1

Backside-Mikroskop

Infratec-1

Infratec-1

Für den Einsatz in Fehleranalyse-Labors ist das Backside-Mikroskop Infratec-1 vom amerikanischen Hersteller Ultra Tec (Vertrieb: Synatron) konzipiert. Das Gerät zeichnet sich vor allem durch eine schnelle Bildintegrationszeit von 0,1 bis 15 Sekunden sowie durch einen präzisen Fokussierblock aus, der eine genaue Bestimmung der verbleibenden Siliziumstärke ermöglicht.

Optimale Verwendung findet das Mikroskop zusammen mit dem Selected Area Polisher A.S.A.P.-1. des gleichen Herstellers, da die Musterbefestigungsplatte zwischen beiden Geräten bequem ausgetauscht werden kann. Die Richtigkeit des Musterpräparats sowie die verbleibende Siliziumstärke können bestimmt werden, ohne das Muster zu einem Emissions- oder anderen Mikroskop zu transportieren. Der geringe Platzbedarf des Mikroskops erlaubt, neben dem Preisniveau, den Einsatz auch in kleineren FA-Labors.

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