GWI, Glass Wafer Inspektionssystem von . EVT

Fehler auf Wafern frühzeitig inspizieren

EVT, Karlsruhe, hat das GWI-System entwickelt,das Fehler auf Wafern in einem frühen Stadium in der Produktion erkennt. Das System basiert auf einer hochauflösenden Smart-Kamera, die ein Bild vom Wafer aufnimmt. Um die geforderte Genauigkeit in der Fehlererkennung zu erreichen, wird ein 5-MPixel-CMOS-Sensor verwendet. Dem Anwender stehen auch höhere Auflösungen zur Verfügung. Ebenso kann ein CCD-Sensor eingesetzt werden.

Das komplette System besteht aus einer schwarzen Aluminiumstruktur. Eine hochleistungsfähige LED-Beleuchtung erhellt den Wafer von der Unterseite. Abhängig von der Größe des zu inspizierenden Wafers, variiert auch der Durchmesser der Aussparung für die Beleuchtung. Die Kommunikation zur Prüfeinheit kann entweder via Ethernet oder RS232 erfolgen und optional auch via USB.

Die Bildverarbeitung erfolgt komplett in der Smart-Kamera durch die ARM Cortex A8 CPU mit 1GHz und die zusätzlichen 800MHz DSP. Das Bild des Wafers wird aufgenommen und sofort in der Kamera ausgewertet. Die Ergebnisdaten und Bilder werden zur SPS übertragen. Zusätzlich gibt es die Möglichkeit, ein Display direkt an der Kamera anzuschließen, um die Ergebnisse an einem Monitor zu sehen.

Das System ist basierend auf einem Windows-PC programmiert. Nach der Programmierung wird das System vom PC getrennt, und die Kommunikation zum System erfolgt anhand eines Kommunikationsprotokolls.

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EVT Eye Vision Technology
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