Merken 03.06.2002

Flatscan 200

3D-Oberflächenprofilometer

Flatscan 200

Zur hochgenauen vollautomatischen Messung der Oberflächentopographie reflektierender Prüflinge mit einer Reproduzierbarkeit besser 100nm dient das optische 3D-Oberflächenprofilometer Flatscan200 von OEG. Es stellt eine Alternative zur interferometrischen Oberflächenvermessung dar und eignet sich außerdem für die Messung von Krümmungsradien bis zu etwa 100Metern.
Auf der Basis eines optischen Messverfahrens kann die Oberflächenform wahlweise 2- oder 3- dimensional berührungslos erfasst werden. Für den Einsatz in der Halbleitertechnologie bietet die Software ein Modul zur Berechnung des Dünnfilmstresses. Das Messfeld besitzt für Standardgeräte einen Durchmesser von 200mm, ist aber durch das Messprinzip prinzipiell nicht eingeschränkt. Es sind daher auch beliebige andere Messfelder möglich. Die Software läuft unter Windows 95/98/NT/2000 und bietet sowohl grafische als auch numerische Präsentationsmöglichkeiten für die Messergebnisse.