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03.09.2009

Fischerscope-X-Ray-Conti-5000-Geräte

Zerstörungsfreie Analyse von fotoaktiven Schichten

Fischerscope-X-Ray-Conti-5000-Geräte

Fischerscope-X-Ray-Conti-5000-Geräte

Die Fischerscope-X-Ray-Conti-5000-Geräte von Fischer, Sindelfingen, sind energiedispersive Röntgenfluoreszenz-Spektrometer (EDXRF) für die Inline-Prozesskontrolle. Für die kontinuierliche zerstörungsfreie Analyse von Legierungen und die Messung dünnster Schichten und Schichtsysteme konzipiert, eignen sie sich laut Hersteller für die Fotovoltaik-Industrie, um die Dicke und Zusammensetzung von Kupfer, Indium, Gallium und Selen (CIGS, CIS) bzw. von Cadmiumtellurid (CdTe) zu bestimmen. Fotoaktive Schichten werden auf unterschiedlichen Grundwerkstoffen wie Glasplatten, Metall- oder Plastikfolien gemessen.

Sowohl Röntgenröhre als auch Halbleiterdetektor können auf die jeweilige Anwendung abgestimmt werden. Zur Integration in Fertigungsanlagen ist das Spektrometer mit einem genormten Montageflansch ausgestattet. Verschiedene modular aufgebaute Varianten sind für die Messung an Luft oder im Vakuum erhältlich. Mit einem zusätzlichen Kühlflansch sind auch Messungen auf sehr heißen Substraten mit bis zu 500 °C Oberflächentemperatur möglich.

Die Kalibrierung erfolgt mit einem Werkstück-Master direkt im Fertigungsablauf. Dank angepasster Blenden, moderner Halbleiterdetektoren und eines digitalen Pulsprozessors zeichnet sich die Spektrometer-Serie nach Herstellerangaben durch eine hohe Wiederholpräzision kombiniert mit einer guten Langzeitstabilität aus. Die reduzierte Notwendigkeit einer Nachkalibrierung soll helfen, Zeit und Aufwand zu sparen.

Die Bedienung, die Auswertung der Messungen sowie die übersichtliche Darstellung der Messergebnisse erfolgen am PC mit der Software WinFTM. Alle Geräte der Serie können über verschiedene Schnittstellen in industrielle Prozesssteuerungen integriert werden.

Unternehmensinformation

Helmut Fischer GmbH Inst. Elektronik + Meßtechnik

Industriestr. 21
DE 71069 Sindelfingen
Tel.: 07031 303-0
Fax: 07031 303-79

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