Merken 01.07.2003

Faseroptischer Mikrosensor

Mikrosensor für kleine Öffnungen

Für berührungslose Abstandsmessungen mit Auflösungen im Sub-Mikrometerbereich entwickelte das Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT in Aachen einen faseroptischen Mikrosensor, der in der Lage ist, selbst in kleinste Öffnungen einzutauchen. Der Sensor ist mit einer miniaturisierten Sensorspitze von ca. 500µm Durchmesser ausgestattet und verfügt über eigens am Institut gefertigte optische Elemente (Spiegel, Optiken). Der robuste interferometrische Aufbau des Spiegels ohne zusätzliche mechanische Verfahrwege und die flexible LWL-Kopplung des Sensorkopfs mit der Auswerteeinheit eröffnen auf minimalem Bauraum weite Einsatzfelder von der Mikromontage bis zur Medizintechnik.