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28.04.2004

DynamicMEMS-Messsystem

Mikroteile in Bewegung

DynamicMEMS-Messsystem

DynamicMEMS-Messsystem

Live-3D-Vermessung. Das DynamicMEMS-Messsystem von Veeco Instruments, Mannheim, prüft sich bewegende Mikroteile durch die Live-3D-Vermessung. Das optische Profilometer Wyko NT1100 wird mit einer stroboskopischen Beleuchtung kombiniert. So können schnell bewegliche mikro-elekro-mechanische Systeme bei Frequenzen bis zu 1MHz berührungslos dreidimensional abgetastet und dargestellt werden. Dabei spielt es nach Herstellerangaben keine Rolle, ob die Bewegungen in der Bauteilebene oder aus der Ebene heraus verlaufen.

Die stroboskopische Beleuchtung „friert“ die Bewegung des Bauteils im gewünschten Bewegungszustand ein. Aus einer automatisch generierten Sequenz von Aufnahmen aufeinander folgender Bewegungszustände wird laut Hersteller das bewegte Bauteil dreidimensional visualisiert. Außerdem erhält man demnach exakte Messdaten, wie z.B. die Auslenkung des Teils in Abhängigkeit von der Zeit, der Frequenz oder der Amplitude der Anregung.

Unternehmensinformation

Veeco Instruments GmbH Metrology Group

Dynamostr. 19
DE 68165 Mannheim
Tel.: 0621 84210-0
Fax: 0621 84210-22

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