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16.08.2013

Dünnschichtsensor FTR von FRT

Dickenmessung an dünnen Schichten

Dünnschichtsensor FTR

Mit dem Dünnschichtsensor FTR bringt FRT, Bergisch Gladbach, einen speziellen Sensor für die Dickenmessung transparenter dünner Schichten und Schichtsysteme auf den Markt. Das optische Dünnschichtreflektometer misst berührungslos und zerstörungsfrei mit hoher Auflösung. Wegen dieser Eigenschaften sieht das Unternehmen den Sensor als besonders für Messungen an sensiblen Materialien der Halbleiter-, MEMS- und Solartechnik geeignet. Weiter beschreibt der Hersteller den Messkopf als leicht, klein und verschleißfrei, wodurch er sich gut für die Prüfung transparenter, glatter Schichten eignen sollebenso wie für die Dickenmessung von Oxiden, Nitriden und Fotolack. Der Messvorgang in Kombination mit einem firmeneigenen Messgerät läuft komplett berührungslos und zerstörungsfrei ab.

Der Dünnschichtsensor basiert auf der spektral aufgelösten Reflexionsmessung und einer Auswertesoftware. Die Bestimmung der Dicke dünner Schichten beruht auf der Überlagerung von Teilwellen, die an den Grenzflächen des dünnen Films reflektiert werden. Die Auswertung dieses spektralen Interferenzmusters mit der firmeneigenen Software liefert die Informationen zur Schichtdicke des Films mit Nanometerauflösung. Die Ergebnisse werden erfasst, ausgewertet und visualisiert.

FRT, Fries Research & Technology GmbH
www.frt-gmbh.com

Unternehmensinformation

FRT Fries Research & Technology GmbH

Friedrich-Ebert-Straße 75
DE 51429 Bergisch Gladbach
Tel.: 02204 842430
Fax: 02204 842431

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