Dreistrahl-Interferometer
Simultane Längen- und Winkelmessung
Dreistrahl-Interferometer
Das Dreistrahl-Interferometer von Sios, Ilmenau, vereint in einem Gerät drei Interferometer. Damit sind laut Hersteller simultane dreiachsige Längenmessungen sowie die Nick- und Gierwinkel-Erfassung mit höchster Genauigkeit möglich.
Der Grundaufbau der Interferometer entspricht dem Miniaturinterferometer mit Planspiegelreflektor der Serie SP. Der Wegmessbereich beträgt maximal 2m bei einer Auflösung von 1nm bzw. 0,1nm. Die Winkelmessbereiche betragen etwa ±2Minuten bei einer Auflösung von 0,02arcsec. Der Strahlabstand von 12mm wird vom Hersteller kalibriert. Ein He-Ne-Laser mit hoher Frequenzstabilität versorgt alle drei Interferometer. Damit besitzen die drei Messsysteme dasselbe Wellenlängennormal. Die Laserstrahlung wird mit einem Lichtwellenleiter in den Sensorkopf eingekoppelt.
Anwendungen finden sich nach Herstellerangaben beispielsweise bei der Vermessung von Führungen, Mess-, Mikroskop- und Positioniertischen sowie der Kalibrierung von Mess- und Werkzeugmaschinen.
SIOS Meßtechnik GmbH
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