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30.04.2007

Doppel-Miniaturinterferometer der Serie SP-D

Längen- und Winkelmessung

Doppel-Miniaturinterferometer der Serie SP-D

Doppel-Miniaturinterferometer der Serie SP-D

Für das hochpräzise berührungslose Messen von Längen und Winkeln hat Sios Meßtechnik, Ilmenau, die Doppel-Miniaturinterferometer mit Planspiegelreflektoren der Serie SP-D entwickelt. Die Winkelauflösung beträgt 0,05" und die Längenauflösung 0,1 nm.

Durch zwei parallele Messstrahlen können simultan zwei Längenwerte und der dazugehörige Winkelwert erfasst werden. Als Messreflektoren dienen Planspiegel oder beliebige Oberflächen mit optischer Qualität. Der zulässige Winkelbereich beträgt dabei etwa zwei Minuten und ist vom Abstand der Strahlen unabhängig. Bei kleinen Längenänderungen lässt sich der Winkelbereich auf ± 30 Minuten erhöhen, indem die Messstrahlen auf das Messobjekt fokussiert werden. Dem Sensorkopf wird Laserlicht über einen Lichtwellenleiter zugeführt. Bei größeren Messlängen werden der He-Ne-Laser frequenzstabilisiert und Umwelteinflüsse auf die Laserwellenlängen korrigiert.

Die Doppel-Miniaturinterferometer können laut Hersteller zum laserinterferometrischen Messen an Mess-, Mikroskop- und Positioniertischen, an Mess- und Werkzeugmaschinen oder zum Kalibrieren von Winkelmessgeräten eingesetzt werden.

Unternehmensinformation

SIOS Meßtechnik GmbH

Am Vogelherd 46
DE 98693 Ilmenau
Tel.: 03677 6447-0
Fax: 03677 6447-8

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