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03.11.2003

DMEMS

Vermessung dynamischer Prozesse

Die Veeco Metrology Group stellt eine neue Option für Weißlichtinterferometer vor: DMEMS für die Vermessungen von dynamischen Prozessen bei mikromechanischen Bauteilen (MEMS) und Mikroaktuatoren. Diese Option ist ab sofort für die Wyko-NT1100-Serie erhältlich, die damit sowohl Topographie und Rauigkeit von statischen Oberflächen als auch dynamische Prozesse über einen größeren Hub dreidimensional erlaubt. Dabei ist es egal, ob die Bewegungen, z.B. bei Mikropumpen, in der Ebene oder aus der Ebene erfolgen.

Die Option DMEMS beinhaltet eine spezielle Lichtquelle, Elektronik und anwendungsspezifische Software. Dabei wird eine Serie von dreidimensionalen Bildern aufgenommen, die anschließend zu einem Video zusammengesetzt werden. Des Weiteren beinhaltet die Option SureVision, ein Software-Paket zur automatischen Strukturerkennung. Es bietet umfassende Analysewerkzeuge zur Bestimmung kritischer Teileparameter wie Resonanzfrequenzen, Kurvenradien, Verkrümmungen und relative Abweichungen.

Das WykoNT1100 liefert berührungslose hochauflösende dreidimensionale Messungen über einen Messbereich von 0,1nm bis 2mm. Die Möglichkeit, unter Verwendung eines motorisierten Verschiebetischs Daten mehrerer Aufnahmen zusammenzusetzen, liefert hochauflösende Messungen mit Subnanometer-Auflösungen auch über größere Messbereiche.
Die interaktive Darstellung von zwei- und dreidimensionalen Daten und fortschrittliche Datenfilterung in der Wyko-Vision-Analyse-Software sind inklusive.

Unternehmensinformation

Veeco Instruments GmbH Metrology Group

Dynamostr. 19
DE 68165 Mannheim
Tel.: 0621 84210-0
Fax: 0621 84210-22

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