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28.10.2009

Coherence Correlation Interferometer Talysurf CCI 6000

Für Rauheiten an polierten Optiken

Das Coherence Correlation Interferometer Talysurf CCI 6000 von Ametek, Geschäftsbereich Taylor Hobson, Wiesbaden, bestimmt unter anderem Rauheiten an polierten Optiken. Das Design des Weißlichtinterferometers mit nur wenigen optischen Komponenten und einer (aktiven) Schwingungsdämpfung ermöglicht laut Hersteller eine gleichmäßig ausgeleuchtete und stabile Untersuchung der Probe.

Eine externe Lichtquelle soll die Wärmeentwicklung im Gehäuse und dadurch mögliche Abbildungsfehler durch Materialexpansion vermeiden. Ein optischer Zoom oder ein Objektivwechsel (Turret) sind aufgrund des quadratischen CCD-Chips mit mehr als 1 Million Pixel nicht notwendig. Instabilitäten werden vermieden, und eine zeitaufwendige Kalibrierung entfällt. Die Genauigkeit bei der Peak- und Phasenbestimmung des schnellen CCI-Algorithmus sowie dessen präzise Steuerung des vertikalen Messbereichs (unterstützt durch das geringe Gewicht eines Einzelobjektivs) gewährleisten die hohe laterale Auflösung in X- und Y- sowie Z-Richtung von 0,01 nm. Die Messzeit von 5 bis 20 Sekunden trägt zu einem zeiteffizienten Probendurchsatz bei.

Unternehmensinformation

AMETEK GmbH Geschäftsbereich TAYLOR HOBSON

Rudolf Diesel Str. 16
DE 64331 Weiterstadt
Tel.: 06150 543-0

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