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02.11.2004

CHRocodile

Distanz und Schichtdicke messen

CHRocodile

CHRocodile

Die optischen Sensoren CHRocodile von Precitec Optronik, Rodgau, arbeiten mit der 4-kHz-Technologie und erlauben es laut Hersteller, topografische Untersuchungen oder Schichtdickenmessungen bis zu 10 mal schneller durchzuführen. Vor allem die breite Messkopfpalette eröffnet demnach zahlreiche Einsatzmöglichkeiten. So lassen sich mit einem einzelnen Gerät Mikrostrukturen von wenigen µm erfassen, aber auch Oberflächentopographien bis 25mm. Die Geräte werden bei der Produkt- und Prozesskontrolle, der Qualitätssicherung oder in der Forschung & Entwicklung eingesetzt.

Derzeit gibt es zwei Geräteversionen: den mit einer Halogenlampe arbeitenden Sensor CHRocodileE, und das CHRocodile X, das auf die Xenon-Lampentechnologie setzt. Dadurch steht eine sehr viel höhere Lichtleistung zur Verfügung, so dass auf fast allen Messproben mit 4kHz die höchste Abtastrate möglich ist. Neben RS232- und USB-Schnittstelle verfügt das Modell X zusätzlich über einen Ethernet-Anschluss, so dass ein dezentrales Ansteuern von jeder Stelle im Firmennetzwerk oder über Internet möglich ist.

Das zugrunde liegende Messprinzip nutzt die chromatische Längsabberation einer Spezialoptik. Die Vorteile liegen nach Herstellerangaben in der berührungslosen, hoch auflösenden Messung, der Unabhängigkeit von den Oberflächeneigenschaften der Messproben (Reflektivität, Farbe etc.) und im koaxialen Messprinzip, das unempfindlich gegenüber Abschattung ist (Strukturen mit großen Aspektverhältnissen sind problemlos zu vermessen).
Der kompakte Messkopf ist über einen flexiblen Lichtwellenleiter mit der Auswerteeinheit verbunden. Dies soll Messungen auch unter schwierigen Umgebungsbedingungen ermöglichen, wie z.B. in elektromagnetischen Feldern, im Vakuum, bei radioaktiver Bestrahlung oder in explosionsgefährdeten Bereichen.

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