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22.11.2013

3D-Oberflächenmesstechnik von Nano Focus

Automatische Waferprüfung von Mikrolinsenarrays

3D-Oberflächenmesstechnik

Miniaturisierung und hohe Funktionsind die entscheidenden Stichpunkte, wenn es um den Einsatz waferbasierter Mikrooptik geht. Die steigenden Anforderungen an die Komponenten bei gleichzeitiger Miniaturisierung sind ein Trend der heutigen Zeit.Das Unternehmen Suss Microoptics entwickelt und produziert hochwertige Mikrooptiken auf Waferbasis. Hierbei werden auf einem Wafersubstrat aus synthetischem Quarzglas oder Silizium Tausende oder Millionen Mikrolinsen gefertigt. Um die Herstellung und Bearbeitung der Mikrolinsenarrays präzise und zerstörungsfrei zu verschiedenen Zeitpunkten zu überwachen, setzt das Unternehmen eine konfokale 3D-Messtechnik von Nanofocus, Oberhausen, ein.

"Der Nutzen der Nanofocus-Messtechnik liegt für uns vor allem in der Möglichkeit eines vollständigen Wafermappings und automatisierbarer Messabläufe", sagt Dr. Reinhard Völkel, CEO von Suss Microoptics. "Dies ist mit anderen Messtechnologien nicht vergleichbar möglich." Durch die vollflächige Messung ganzer Mikrolinsenarrays wird ein dichtes Messgitter erreicht, das die Identifikation und Detektion defekter Mikrolinsen auf dem gesamten Wafer ermöglichen soll. Wafermap-Importe und die Nutzung von Datenbanken werden durch die Software des Messtechnikunternehmens unterstützt.

Der entscheidende Aspekt in der Herstellung von Mikrolinsen ist die Formpräzision der Linsenprofile, die sich durch den Krümmungsradius und die konische Konstante definieren. Ebenso entscheidend für ein qualitativ hochwertiges Produkt sind die hochgenaue Positionierung der Linsen auf jedem Array sowie die Maßhaltigkeit der Wafer. Diese sind maßgebend für die Leistungsfähigkeit und die optischen Eigenschaften der Mikrolinsenarrays. Auf Grundlage der Messdaten definiert und optimiert der Linsenhersteller die Produktionsparameter und stellt damit die hohe Qualität der produzierten Mikrolinsenarrays sicher.

Unternehmensinformation

NanoFocus AG

Max-Planck-Ring 48
DE 46049 Oberhausen
Tel.: 0208 62000-0
Fax: 0208 62000-99

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