Merken 09.04.2015

3D-Oberflächenmesssysteme von Nanofocus

Oberflächen inline messen

3D-Oberflächenmesssysteme (Foto: Nanofocus)

Die voll automatisierbaren konfokalen 3D-Oberflächenmesssysteme von Nanofocus, Oberhausen, können direkt in Fertigungsanlagen zur 100-Prozent-Kontrolle integriert werden. Sie eignen sich auch für Stichprobenkontrollen bei Einzel- und Serienmessungen. Komplexe Messstrategien und Auswertungen lassen sich mit der Automatisierungssoftware µsoft automation kundenspezifisch konfigurieren. Die Messdaten werden direkt in vordefinierte Ergebnisprotokolle überführt oder über zahlreiche Datenschnittstellen (z. B. SECS-GEM Interface) exportiert. Damit stehen sie für Soll/Ist-Vergleiche zur Verfügung oder können für weitere Auswertungen an qs-Stat, Matlab, verschiedene Datenbanken oder SPC-Charts übergeben werden. Bei Serienmessungen entfällt der Anwendereingriff durch Funktionen wie Passmarkenerkennung, automatisiertes Alignment und Messbereichsnachführung. Die Unterstützung von Wafer-Map-Importen oder OCR/DDM/Bar Code Reading erfüllt gängige Industriestandards zur Produktidentifikation. Für eine optimierte Dokumentation werden Messdaten dauerhaft in einer datenbankbasierten Auswertungsbibliothek gespeichert und können damit zur statistischen Prozesskontrolle genutzt werden. Der Hersteller hat automatisierte Messanlagen bei verschiedenen Herstellern in Betrieb genommen. Dazu zählen u. a. die Messung von Mikro-Schweißnähten und kritischen Oberflächen , und die vollautomatische Wafer-Inspektion u.