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01.08.2006

3D-Laserprofilometer µscan

Messfrequenz bis 30 kHz

3D-Laserprofilometer µscan

3D-Laserprofilometer µscan

Bei der Qualitätsprüfung von Elektronikkomponenten oder MEMS ist neben höchster Präzision vom Mikro- bis zum Nanometerbereich die Schnelligkeit eines Messsystems von entscheidender Bedeutung. Entsprechend erweiterte die NanoFocus AG, Oberhausen, ihr Programm für das 3D-Laserprofilometer µscan um eine Sensorreihe mit erhöhter Messfrequenz und optimierter Datenrate. Die nach dem chromatischen Prinzip arbeitenden CRT-Sensoren können laut Hersteller 3D-Oberflächen mit einer Frequenz von bis zu 30 kHz erfassen. Eine schnelle Datenübertragung über eine LAN-Schnittstelle und eine Hochleistungslichtquelle ermöglichen diese hohe Messfrequenz. Dabei können Strukturen von bis zu 10nm vertikal und 3µm lateral, wie zum Beispiel µvias auf Leiterplatten, aufgelöst werden. Mit großem Arbeitsabstand und kleiner Bauform erlaubt der Sensor nach Herstellerangaben auch an schwer zugänglichen Stellen eine präzise Messung.

Neben Rauheit und Welligkeit nach DIN EN ISO können Form, Koplanarität, Verwölbung, Geometrien und Schichtdicken bestimmt werden. Zusammen mit der vollen Automatisierbarkeit und dem modularen Aufbau der 3D-Messysteme des Herstellers eignet sich die CRT-Baureihe nach eigenen Angaben für den Einsatz in der Produktion. Das bedienerfreundliche Mess- und Auswertepaket µsoft stellt verschiedene Analysewerkzeuge zur Verfügung und lässt sich über externe Schnittsstellen unter VBA frei programmieren.

Unternehmensinformation

NanoFocus AG

Max-Planck-Ring 48
DE 46049 Oberhausen
Tel.: 0208 62000-0
Fax: 0208 62000-99

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