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02.11.2004

3D-Koordinatenmessmaschine

Taktile Messung im Sub-Mikrometerbereich

3D-Koordinatenmessmaschine

3D-Koordinatenmessmaschine

Im Rahmen des vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) geförderten Projekts MiMiKri hat Carl Zeiss Industrielle Messtechnik, Oberkochen, eine 3D-Koordinatenmessmaschine mit dazugehörender Sensorik zum Messen mikrosystemtechnischer Komponenten und Bauteile entwickelt. Diese Technologie soll für die Qualitätssicherung feinmechanischer und mikrosystemtechnischer Produkte in Industrie, Forschung und Entwicklung eingesetzt werden.

Das Messvolumen des Geräts beträgt einen Kubikdezimeter und die Messunsicherheit in diesem Volumen 250Nanometer bei einer Auflösung von 7,5 Nanometern. Diese Auflösung und das optimierte Regelverhalten der Linearantriebe ermöglichen es laut Hersteller, mit kleinsten Antastkräften auch in Bohrungen mit Durchmessern unter einem Millimeter taktil zu messen. Der 3D-Mikrotaster ist ausgelegt für Taststiftdurchmesser von 20 bis 500Mikrometern und Tastkugeldurchmesser von 50 bis 700 Mikrometern bei einer freien Schaftlänge von bis zu fünf Millimetern. Die Antastkräfte wurden dabei auf Werte von weniger als 0,5mN/µm minimiert. Ergänzend zur taktilen Messung kommt für die 2D-Messungen ein optischer Sensor zum Einsatz.

Gemessen werden Maß, Form und Lage an mikrosystemtechnischen Bauteilen. Dies ermöglicht der neuartige taktile Sensor, dessen zentrale Komponente eine komplexe Silizium-Membranfeder-Technik ist. Sie ist in Zusammenarbeit mit der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt, Braunschweig, und dem Institut für Messtechnik (IMT), Braunschweig, entstanden.
Zum Sicherstellen eines präzisen Regelungsverhalten und extremer Schwingungsarmut der Koordinatenmessmaschine wurde in Zusammenarbeit mit dem Institut voor Metrologie en Technologie (NMI) der Technischen Universität Eindhoven, Niederlande, eine Präzisionskinematik entwickelt, die nach dem Abbeschen Komparatorprinzip arbeitet.

Unternehmensinformation

Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH

Carl-Zeiss-Str. 22
DE 73447 Oberkochen
Tel.: 07364 20-0
Fax: 07364 20-3870

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